氟化氮是一种由氮和氟组成的高反应性化合物。它用于半导体行业的等离子蚀刻和清洁工艺。
国际纯粹和应用化学联合会名称 | 氟化氮 |
分子式 | 核因子 |
CAS 号 | 13967-06-1 |
同义词 | 一氟化氮、氟化氮 (II)、氟化氮 (NF)、UN 2451、EINECS 232-013-4 |
乙酰胆碱 | InChI=1S/FN/c1-2 |
一氟化氮 摩尔质量
氟化氮 (NF) 的摩尔质量为 33.005 g/mol。它是一种轻质、无色的气体,由于氮和氟之间的电负性差异而具有很强的反应性。其摩尔质量源自氮和氟的原子质量,分别为 14.007 g/mol 和 18.998 g/mol。该分子的小尺寸使其成为半导体行业的理想选择,用于等离子蚀刻和清洁工艺。
氟化氮的沸点
氟化氮的沸点为-129.6°C (-201.3°F)。在此温度下,它从气态变为液态。由于分子间作用力(主要是范德华力)较弱,氟化氮的沸点较低。这种低沸点使其成为一种挥发性且非常活泼的化合物,必须小心处理。
氟化氮的熔点
氟化氮的熔点为-206.5°C (-339.7°F)。在此温度下,它从固态变为液态。熔点低是由于分子间的分子间作用力较弱,主要是范德华力。氟化氮的低熔点也使其非常活泼且易挥发。
氟化氮密度g/ml
标准温度和压力 (STP) 下氟化氮的密度为 1.49 g/mL。由于分子尺寸小且存在两个原子,因此与其他气体相比,该密度相对较高。氟化氮的高密度使其成为半导体行业的理想选择,用于等离子蚀刻和清洁工艺。
氟化氮的分子量
氟化氮的分子量为33.005 g/mol。该值源自氮和氟的原子质量之和,分别为 14.007 g/mol 和 18.998 g/mol。该分子的小尺寸和相对较低的分子量使其成为半导体行业的理想选择。
氟化氮的结构
NF具有线性分子结构,氮原子位于中心,氟原子位于两端。氮和氟原子之间的键是共价键,由于两个原子之间的电负性差异,分子具有极性。该分子具有偶极矩,这使得它非常活泼并且可能与其他分子形成化学键。
氟化氮公式
氟化氮的化学式为NF。该式表明该分子由1个氮原子和1个氟原子组成。由于两个原子之间电负性的差异,分子具有线性结构和极性。 NF 公式常用于半导体行业,用于等离子蚀刻和清洗工艺。
外貌 | 无色气体或淡黄色液体 |
比重 | 1.49(标准处理时) |
颜色 | 无色 |
闻 | 英亩 |
摩尔质量 | 33.005 克/摩尔 |
密度 | 1.49 克/毫升(标准温度) |
融合点 | -206.5°C (-339.7°F) |
沸点 | -129.6°C (-201.3°F) |
闪点 | 不适用 |
水中溶解度 | 与水发生反应 |
溶解度 | 溶于有机溶剂 |
蒸汽压力 | 25°C 时为 298.5 kPa |
蒸气密度 | 1.44(空气=1) |
酸度 | 不适用 |
酸碱度 | 不适用 |
氟化氮的安全性和危险性
氟化氮 (NF) 由于其高反应性和毒性而构成重大安全风险。接触 NF 会导致严重烧伤以及皮肤、眼睛和呼吸道刺激。 NF 是一种强氧化剂,与衣服、纸张或木材等有机材料接触时可能会燃烧或爆炸。此外,它会与水和其他化学物质发生剧烈反应,释放有毒烟雾和气体。在处理呼吸性 NF 时,应采取适当的安全措施,包括使用防护服、防护以及正确的处理和储存程序,以尽量减少暴露和受伤的风险。
危险符号 | 氧化剂 |
安全说明 | 远离易燃材料、热源、火花和明火。 |
穿戴防护服、手套和眼部/面部防护装置。 | |
如果发生火灾,请使用水、干粉或二氧化碳灭火器。 | |
AN 标识符 | UN2468(气体用)、UN3263(液体用) |
海关编码 | 2811.22.00 |
危险等级 | 5.1(氧化物质) |
包装组别 | II(气体用)、III(液体用) |
毒性 | NF 具有剧毒,可导致严重烧伤和刺激皮肤、眼睛、 |
和呼吸道。摄入或吸入可能致命。 |
氟化氮的合成方法
在一氟化氮的生产中,通过自由基物质(H、O、N、CH3)从二氟化氮(NF2)中萃取氟原子,有效地产生自由基以实现长链增长持续时间。然而,最终产品含有自由基杂质,会催化其分解。
为了获得更纯的产品,可以使用效率较低但更纯的叠氮化物分解技术。这涉及叠氮化氟的冲击诱导分解,叠氮化氟可通过原子氟与叠氮酸反应原位形成为 NF 和 N2。
在纳米纤维生产过程中,实施适当的安全措施非常重要,包括使用适当的防护设备和服装,并确保足够的通风,以尽量减少接触危险材料和化学品。
氟化氮的用途
氟化氮 (NF) 在各个行业都有多种应用。
NF主要用作半导体和电子产品生产过程中在表面沉积氮化硅和其他材料薄膜时的氟化剂。
由于NF具有高氧化能力和低分子量,航空航天工业使用NF作为火箭推进剂,使其成为一种高效燃料。它还用作火箭燃料的添加剂,以改善燃烧并增加推力。
在医疗行业,NF在一些药物的合成以及实验室实验中作为试剂发挥着作用。此外,由于其强氧化特性,它可用作医疗设备的消毒剂。
特种玻璃和陶瓷生产使用NF作为助熔剂来降低材料的熔点并改善其性能。
然而,NF 的高反应性和毒性带来了重大的安全风险。因此,实施适当的安全措施非常重要,包括在使用 NF 时使用防护设备和正确的处理程序,以尽量减少暴露和受伤的风险。